ASML併漢微科 牽動台積電、三星競爭 20 Jun 04:05 AM ASML併漢微科 牽動台積電、三星競爭 2016-06-20 04:05 聯合報 記者簡永祥／台北報導 荷蘭艾司摩爾（ASML）併購股后漢微科，牽動台積電與三星的製程競賽。設備業者認為，ASML併購漢微科之後，可能協助三星
荷蘭艾司摩爾（ASML）併購股后漢微科，牽動台積電與三星的製程競賽。設備業者認為，ASML併購漢微科之後，可能協助三星加快7奈米量產，使得台積電與三星的7奈米大戰戰火更烈。
業界觀察，三星在10奈米製程失利後，已宣布提前7奈米量產計畫，率先在7奈米導入ASML量產的極紫外光微影製程（EUV）微影設備機台。三星規劃，明年第2季或第3季EUV機台裝設完工後，明年底就會用於量產7奈米晶片。
台積電在7奈米製程尚未導入EUV設備。由於ASML併購漢微科後，將大幅提升先進製程機台能量，業界密切關注ASML是否會協助三星加快7奈米布局，以及台積電後續因應動作。
台積電表示，對ASML併購漢微科持肯定態度，預期以ASML雄厚財力，可以讓漢微科有更大的後盾，支持在電子束檢測更先進的研發。
對於三星提前在7奈米採用EUV微影製程，台積電表示，考量目前EUV設備還有很多技術瓶頸，公司才決定不在7奈米導入使用，將緊盯對手發展。台積電強調，若EUV設備在2018年更成熟，該公司也會採取應變對策，絕不會讓對手取得先機。
業界分析，ASML將以千億元併購漢微科，牽動半導體三強台積電、三星和英特爾在7奈米以下製程競賽甚鉅。尤其三星率先在7奈米導入EUV機台，顯然要用更先進的製程設備，在晶片效能做大幅突破，並以領先台積電的7月奈米時程，讓打算大舉採用台積電7奈米製程的大客戶蘋果和高通重新調整下單策略。
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艾司摩爾（ASML）宣布以千億元併購漢微科之後，將強化在台研發能量及採購比重，ASML在台四大夥伴帆宣、公準精密、信邦，以及大銀等台灣業者，重要性同步拉升。
ASML很早就與台灣建立關係，1988年由漢民代理台灣業務，2007年進一步在台成立卓越創新中心，陸續將全球訓練中心、二手設備翻修業務，以及子公司YieldStar量測系統生產線移到台灣，就近服務客戶及支援全球。
ASML並把亞洲採購中心移到台灣，從台灣上百家供應商中，幾經輔導評核等程序，選出帆宣、公準、信邦、大銀等成為ASML主要供應商，間接協助提升台灣半導體業整體技術能力。
極紫外光微影製程 （EUV）技術是次世代微影技術之一，被半導體業視為跨入10奈米製程以下，取代傳統浸潤式曝光（Immersion）、延續摩爾定律的一項重要微影技術。
浸潤式曝光機台是在光源與晶圓中間加入水的原理，使波長縮短到132奈米的微影技術；EUV曝光設備是利用波長極短的紫外線，在矽基板上刻出更微細的電路圖案。
EUV售價昂貴，一台售價高達7,000萬歐元（約新台幣25.6億元），主力設備開發廠艾司摩爾（ASML）為降低開發風險，過去曾要求英特爾、三星及台積電以入股，共同參與這項先進微影技術開發，如今相關量產設備已陸續出貨，和浸潤式曝光機搭配使用，開始導入在10奈米以下先進製程。
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